光学薄膜测量仪的原理： 当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。
根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。
光学薄膜测量仪的主要特点：
真空压差法测试原理；
三腔独立测试；
三腔循环介质控温，各自独立温度传感器实时监控；
智能模式，试验过程全自动，一键式操作；
真空泵自动启停，无需人工开关；
气体透过率、扩散系数、溶解度系数、渗透系数测试；
多种试验模式可选择，可满足各种标准、非标试验；
数据审计追踪、溯源；系统日志记录；
5级用户权限管理；
温度曲线、湿度曲线、压差曲线、曲线独立显示、曲线叠加；
可支持DSM实验室数据管理系统，能实现生产监控、数据统一管理。
光学薄膜测量仪由测绘主机、测绘平台、Y型光纤及上位机软件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪结合*的算法技术，为用户提供的自动光学薄膜厚度测量仪。
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